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流量開關在還原爐冷卻水中的應用

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多晶硅還原爐冷卻水管路中的的流量開關應用



多晶硅還原爐冷卻對于現場安全至關重要,如不能及時對冷卻水進行監控,將引起氫氣泄漏,引起爆炸。熱式流量開關根據其產品特點——無可動部件,全不銹鋼材質,防護等級高可全面滿足化工行業尤其是在冷卻水或是潤滑油路上,是大多數化工企業常用的開關類儀表!


多晶硅還原爐主要由底盤、含夾套冷卻水的鐘罩式雙層爐體、電極、視鏡孔、混和氣進氣管、混和氣尾氣出氣管、爐體冷卻水進水管、爐體冷卻水出水管、底盤冷卻水進水管、底盤冷卻水出水管、電極冷卻水進水管、電極冷卻水出水管及其他附屬部件組成,爐體主體采用不銹鋼材質。


熱式流量開關在多晶硅還原爐水冷卻中的應用


還原爐里面是用純的氫氣以及三氯氫硅,在1100°條件左右進行反應,生成的硅沉積在硅棒表面,慢慢的生長,一般都要72小時以上時間不間斷的供料供電。爐壁式夾層,用循環水進行冷卻。


危險系數極高,主要體現在以下幾個方面:

1、冷卻水供應不上燒壞爐壁,濺落爐內造成爆炸;

2、電極和視鏡是整個還原爐最脆弱的地方,一定要保證冷卻水;

3、氫氣可能泄露,引起爆炸;

熱式流量開關

比利科技優質產品-熱式流量開關


熱式流量開關工作原理:


基于熱式原理,在封閉的探頭內包含兩個電阻,其中一個被加熱作為探測電阻,另一個未被加熱作為基準電阻,當有介質流動時,感熱傳感器所接收到的熱量將隨介質的流速變化而變化,感熱傳感器將這溫差信號轉化成電信號,在流速達到某設定點時,熱式流量開關輸出開關量信號。


熱式流量開關原理圖

熱式流量開關原理圖


熱式流量開關特點:


無活動部件,免維護。

安裝方便,一種型號適用于多種管徑要求。

開關量連續調節,極低的壓力損失。

結構緊湊,LED顯示流動趨勢及開關狀態。



熱式流量開關技術參數


插入式設定范圍

1---150cm/s(水)3---300cm/s(油),20---2000cm/s(空氣)

信號輸出

PNP、NPN、繼電器

供電

24V±20%DC

接通電源

最大400mA(PNP或NPN型)最大1A@36VAC/DC(繼電器型)

空載電流

最大80mA

設定方式

電位器設定

耐壓范圍

100bar

介質溫度變化

≤4℃/s

響應時間

1…13s,典型值2s

初始化時間

約8s

電氣保護

反相,短路,過載保護

防護等級

IP67

介質溫度

-20…90℃ 環境溫度:-20…80℃  儲存溫度:-20…80℃

材質

探頭:不銹鋼,   外殼:不銹鋼/鑄鋁

測量精度

±2%